本實驗裝置由直流高壓電源、真空系統、供氣系統、輝光放電管、真空鍍膜鐘罩等部件組成。
主要實驗內容
可測定探極伏安特性、電子密度、電子溫度、電子平均動能、空間電位分布等多種特性參數;了解真空濺射鍍膜的原理及基本方法。
儀器主要配置及技術參數
☆真空系數:旋片式真空泵，單相220V，抽速4L/s，極限真空:6×10^-1Pa。
☆智能數顯熱偶真空計測量系統，采用二路測量真空濺射鍍膜和輝光放電等離子氣體樣品氣壓。氣路采用標準高真空接口，濺射鍍膜實驗和輝光放電等離子通過高真空角膜閥轉換。
☆直流高壓電源:0~2000V連續可調;放電電流0~0.5A可測;
☆輝光放電管陽極端有三個探針，可以用單探極法、雙探極法、補償法等進行測量;
☆工作氣壓:10~200Pa可調:放電管內Φ40×400mm.

浙江大學研制